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Ramin Mirzazadeh, Saeed Eftekhar Azam, Eelco Jansen, Stefano Mariani

Titel:Uncertainty quantification in polysilicon MEMS through on-chip testing and reduced-order modelling.
Jahr:2017
Kategorie:Konferenzbeiträge
DOI:10.1109/EuroSimE.2017.7926242